CCZK-IONL大型多弧離子PVD鍍膜設備—真空電鍍設備—馳誠

CCZK-IONL大型多弧離子PVD鍍膜設備——產品信息

馳誠大型多弧離子鍍鈦設備創新采用立式前開門的設計，優秀的機械門軸設計和轉架定制為您大型工件的離子鍍膜提供極為便利的操作。同時可以獲得優異性能的膜層 

全SUS304優質不銹鋼機身，隱藏式雙層冷卻水套設計 

合理配備多套最新研制的離子弧源，有效保障弧源濺射的穩定性與均勻性 

采用先進的多路進氣系統，精準控制氣體流量，滿足您多種化合物膜層需求。 

裝載大功率脈沖偏壓電源，極大提高電粒子能量，從而獲得優秀的膜層結合力和光潔度 

采用馳誠創新工藝制造，精益求精，全面通過歐盟CE和ISO國際質量管理體系認證；

  腔體結構:    立式前開門，臥式前開門，后置真空獲得系統 

材質用料:    腔體采用優質SUS304不銹鋼材質 

離子弧源:    依據設備大小不同配備多套弧電源系統 

偏壓電源:    配備大功率單級脈沖偏壓電源 

多弧靶材:    標配多套鈦靶或不銹鋼靶材 

轉動系統:  變頻調速，公自轉結合，可采用上傳動或下傳動方式 

真空系統:    擴散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機械泵+維持泵+深冷系統（可選） 

氣體控制:    多路氣體質量流量控制系統 

加熱系統:    全新鎧裝加熱裝置，350℃PID可調溫控。 

智能控制:  PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現邏輯全自動控制 

報警及保護:異常情況進行報警，并執行相應保護措施。 

其他技術參數： 

極限真空：  5.0×10-4Pa 

抽氣速率：  5.0*10-2≤5min 

水壓流速≥0.2Mpa  3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa； 

一般規格：Φ2000mm*H4000mm      Φ2200mm*H4500mm 

真空室尺寸或設備配置可按客戶產品及特殊工藝要求訂做 

真空鍍膜設備：http://www.zjcczk.com/

鍍膜設備:http://www.zjcczk.com/product/167.htm

CCZK-IONL大型多弧離子PVD鍍膜設備——廠家信息

溫州馳誠真空機械有限公司

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