HIVAC-F-4 具有非常優異的耐氧化性、熱穩定性、耐化學藥品性的苯甲基有機硅
油。像石油類泵用油以及脂肪酸酯類的泵用油一樣，不會出現由于熱以及氣體吸附造成
的熱破裂現象。另外，在加熱狀態下，幾乎完全不會出現因真空被破壞時發生氧化而產
生氣體以及生成酸、焦油、瀝青類的物質等現象。因此，即使是長期使用也能夠保證真
空泵的穩定運行。 
HIVAC F-4 的真空度達到10 ～10 Torr,若使用液氮凝氣閥，可以把真空度提高到 10 Torr。 
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