產品說明： 
 
產品名稱:工具鍍專用鍍膜機
 
產品描述: 最新研制開發的一種物理氣相沉積（PVD）真空鍍膜設備,可同時安裝兩至四種不同純金屬或合金靶材,進行單層或多層（納米）膜的鍍制。適用于各類工具鍍鍍膜要求，如切削工具，鉆頭、沖摸具等。通過對工件表面在物理、化學、機械、顏色等方面的改質，達到耐磨、超硬、自潤滑的效果。
 
產品詳情說明:
主要特點：
1、采用反應氣體等離子源輔助沉積，對工件進行預清洗及鍍膜時的輔助沉積；
2、采用大功率的脈沖偏壓電源，使工件與膜層獲得更好的結合力；
3、采用多套孿生靶及弧，可同時安裝2—4種不同純金屬或合金靶材，獲得復合納米鍍層；
4、工件架采用公、自轉結構，承重能力強及耐高溫，并可移動出腔體，方便裝卸比較重的模具。
5、觸摸屏+PLC,可實現全自動控制，自動/手動隨時切換；
 
基本配置：   
1、真空室立式單開門結構，304不銹鋼制造，真空室內直徑自Φ1000mm-Φ1300mm；
2、真空系統由旋片泵、羅茨泵和擴散泵或分子泵構成；
3、鍍膜系統采用1-2臺中頻磁控濺射電源，配有1-2對非平衡磁控靶，并配有6-14個熱陰極電??；
4、大功率脈沖偏壓電源；
5、充氣系統采用國產或進口氣體質量流量計、氣體流量控制（顯示）儀；
6、電控系統設置電路過載、斷水、斷氣聲光報警裝置；
7、控制系統（觸摸屏+PLC），實時顯示詳細參數，全自動控制整個生產過程，并自動存儲工藝參數。
 
技術參數： 
總重量 2500kg～4000kg 
名義功率 150KW～200KW 
抽速（空載） 8×10-3Pa≤20min 
極限真空（空載） ≤8×10-4Pa 
壓升率（空載） 0.67Pa/小時 
工件轉速 0～5r/min 
烘烤溫度 室溫～500度