CCZK-SF濺控濺射鍍膜機——馳誠

提供高性能蒸發真空鍍膜設備、磁控濺射鍍膜流水線、多弧離子鍍膜設備、磁控濺射真空鍍膜設備、玻璃真空鍍膜設備、光學鍍膜設備、車燈保護膜專業真空鍍膜設備、UV自動噴涂流水線、UV手動噴涂流水線等，把最出色的，最人性化的，最適合的鍍膜涂裝設備和售后服務順利交付給千千萬萬的客戶，并為客戶創造價值！全國服務熱線：0577-56615101      http://www.zjcczk.com/

CCZK-SF濺控濺射鍍膜機——產品信息

本設備最大特點是具有通過高速反應濺射技術，生長高性能氧化物薄膜能力。在本設備中集成了中頻電源技術、直流脈沖電源技術、高能脈沖電源技術、射頻電源技術等手段進行氧化物薄膜的反應濺射高速生長，并通過PEM及靶電壓監控技術，有效進行氧分壓控制，使氧化物薄膜高性能、高速沉積。設備也支持常規的直流濺射方式生長金屬薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、附著力，設備具有濺射速率快、基片升溫低、加熱穩定等特點。

產品采用全自動控制方式，使工藝重復性、穩定性、可靠性得到有效保證，從而獲得穩定的薄膜生長速率，并能對薄膜生長特性施加控制。設備的數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發和生產平臺。

1.可鍍膜各種玻璃材質，配多只多弧靶及矩形磁控靶，可鍍仿金色/亮灰色/槍黑色/玫瑰金/咖啡色/各金屬色等高端流行色。

2.廣泛應用于手機外殼、衛浴潔具、五金飾品及標牌等鍍膜。

亦可濺射塑料制品、陶瓷、馬賽克、樹脂、水晶玻璃制品等、工藝品、塑料手機殼、電子產品、建材等行業。

馳誠CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備

真空結構

可定制立式，箱體式，圓筒式腔體

襯板

0.6mm鑲嵌不銹鋼

工件旋轉系統

行星公自傳，根據濺射基片合理設計旋轉結構

極限真空（空載、清潔）

8.0×10-5Pa

抽氣時間
(空載、干凈容體）

5.0×10-2Pa≤5min

磁控電源

可配備直流或中頻磁控濺射電源，采用三石研究所產品

真空獲得系統

擴散泵或分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵(可選深冷泵配置）

磁控靶材

可配備平面靶，圓柱中心靶，孿生靶，實現單靶或多靶濺射，因基片設計而不同

濺射速率

因基片材料，工藝而不同

可濺射膜層

可濺射單層膜，或多層膜

氣體控制

配備七星華創氣體流量控制儀和氣體流量閥

報警及保護

對缺水、過流過壓、斷路、聲光等異常情況進行報警，并執行相應保護措施。

智能控制

全彩觸控屏+可編程PLC控制（可實現邏輯自動，半自動，手動控制）

其他技術參數

水壓0.2～0.3MPa、水溫≤25℃、氣壓0.5-0.8MPa

備注

鍍膜設備的具體配置可根據客戶的鍍膜產品工藝要求進行設計。

馳誠CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備

真空結構

可定制立式，箱體式，圓筒式腔體

襯板

0.6mm鑲嵌不銹鋼

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